Analyse der EDS-Komponenten
Einführung des Projekts
Die Energie-Dispersionsspektrometrie (EDS) ist eine Analysetechnik, die zur Analyse und Charakterisierung von Proben verwendet wird.Es wird in der Regel in Verbindung mit einem Scanning-Elektronenmikroskop und einem Transmissions-Elektronenmikroskop verwendet, um die Arten und den Inhalt der Elemente in der Mikroregion des Materials zu analysieren: die charakteristischen Röntgenstrahlen, die bei der Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit dem Material erzeugt werden, dienen zur Information über die chemische Zusammensetzung der Probe,und die meisten Elemente (Be4-PU94) können qualitativ und halbquantitativ nachgewiesen werden, und Oberflächenkontaminanten analysiert werden können.

Labor für Komponentenanalyse

Versuchsprinzip
In modernen Scanning-Elektronenmikroskopen und Transmissions-Elektronenmikroskopen ist das Energie-Dispersionsspektrometer (EDS) ein wichtiges Zubehör.Es teilt eine Reihe von optischen Systemen mit der Hauptmaschine, und kann Punktanalysen, Oberflächenanalysen und Linienanalysen zur chemischen Zusammensetzung der interessierten Teile des Materials durchführen.

Vorteile von EDS
(1) Schnelle Analysegeschwindigkeit und hohe Effizienz.Es kann gleichzeitig qualitative und quantitative Analysen aller Elemente mit Atomzahlen zwischen 11 und 92 durchführen (auch ultraleichte Elemente wie C, C1, C1, C1, C1, C1, C2, C2, C3, C3, C3, C3, C4, C4, C5, C5, C6, C6, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C7, C, N und O);
(2) Gute Stabilität und gute Wiederholgenauigkeit;
(3) Kann zur Komponentenanalyse von rauen Oberflächen (Fracture usw.) verwendet werden;
(4) Kann die Trennung von Bauteilen in Materialien usw. messen.

Arbeitsprinzip des EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Struktur des EDS
1- Detektor: wandelt Röntgenphoton-Signale in elektrische Pulssignale um und die Pulshöhe ist proportional zur Energie der Röntgenphotonen.

2Verstärker: verstärkt elektrische Impulssignale.

3Mehrkanal-Impulshöhenanalysator: Die Impulse werden je nach Höhe in verschiedene Kanäle programmiert, d. h.Unterschiedliche charakteristische Röntgenstrahlen unterscheiden sich nach ihren Energien.

4- Signalverarbeitung und Anzeige: Identifizierung des Spektrums, qualitative und quantitative Berechnungen; Aufzeichnung der Analyseergebnisse.

EDS-Analyse
1Qualitative Analyse: Die Spitzen des EDS-Spektrums repräsentieren die in der Probe vorhandenen Elemente.Identifizierung der darin enthaltenen ElementeWenn die Art des Elements nicht korrekt ermittelt werden kann, ist die Genauigkeit der endgültigen quantitativen Analyse bedeutungslos.aber zur Bestimmung von Nebenelementen oder Spurenelementen, kann es nur durch sorgfältige Bearbeitung von Spektrallinienstörungen, Verzerrungen und dem Spektralliniensystem jedes Elements genau sein.Die qualitative Analyse gliedert sich in automatische und manuelle qualitative AnalyseDie automatische qualitative Analyse bestimmt die Spitzenposition nach der Energieposition.Klicken Sie einfach auf die Schaltfläche "Operation/Qualitative Analysis", um das entsprechende Elementzeichen an jeder Spitzenposition des Spektrums anzuzeigenDie automatische qualitative Analyse hat eine schnelle Erkennungsgeschwindigkeit, aber aufgrund der schwerwiegenden Störungen durch Spektralspitzenüberschneidungen werden bestimmte Fehler auftreten.

2Quantitative Analyse: Die quantitative Analyse ist die Konzentration der verschiedenen Elemente, aus denen das Probenmaterial besteht, durch die Intensität der Röntgenstrahlen zu ermitteln.Menschen haben nach einer Methode gesucht und vorgeschlagen, um das Intensitätsverhältnis unbekannter Proben und Standardproben zu messen.Die am weitesten verbreitete quantitative Korrekturtechnik ist die ZAF-Korrektur.

3- Analyse der Oberflächenverteilung von Elementen: In den meisten Fällen wird der Elektronenstrahl nur an einem bestimmten Punkt der Probe geschossen, um das Röntgenspektrum und den Bestandteilgehalt dieses Punktes zu erhalten,die als Punktanalyse bezeichnet wirdIn modernen neuen SEMs können die meisten der verschiedenen Verteilungszustände der Komponenten eines bestimmten Probenbereichs ermittelt werden, d. h. mit Hilfe einer Scan-Beobachtungsvorrichtung.der Elektronenstrahl wird zweidimensional auf der Probe gescannt, und die Intensität der charakteristischen Röntgenstrahlen gemessen wird,so dass die dieser Intensität entsprechende Helligkeitsänderung mit dem Scanningsignal synchronisiert und auf dem Kathodenstrahlrohr CRT angezeigt wird, und das zweidimensionale Verteilungsbild der charakteristischen Röntgenstrahlintensität erhält.was eine sehr praktische Methode zur Messung der zweidimensionalen Verteilung von Elementen ist.